Su padre era Francisco de Paula Figueroa Araoz. Por esa línea descendía de Dolores Araoz Carrera, prima hermana de los Carrera, y de Manuel Antonio de Figueroa, hijo de Tomás de Figueroa, coronel realista que terminó fusilado tras un motín que encabezó en 1811. Su madre era Rosalía Larraín Echeverría, también emparentada con varios connotados terratenientes y políticos. Su hermano Javier Ángel fue ministro, parlamentario y presidente de la Corte Suprema, además de miembro del Partido Liberal. Otro de sus hermanos, Joaquín, también fue ministro y dirigente político. Una de sus hermanas, Leonor, se casó con Enrique Matta Vial.

Casado en 1889 con Leonor Sánchez Vicuña, también de ancestros aristocráticos, tuvieron cuatro hijos.